無塵車間的主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。那么,無塵車間的潔凈度需要符合哪些規(guī)定呢?
1、對(duì)于進(jìn)行產(chǎn)品加工、生產(chǎn)不同產(chǎn)品的無塵凈化車間,進(jìn)行等級(jí)劃分。
2、根據(jù)無塵車間的氣流組級(jí)別,對(duì)空氣凈化形式進(jìn)行劃分,有些工作區(qū)可以采取局部?jī)艋?,而有些工作區(qū)則需要進(jìn)行全室空氣凈化。
3、分開設(shè)置層流無塵車間、亂流無塵車間、運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的無塵車間內(nèi)的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
4、應(yīng)保持無塵車間內(nèi)的送風(fēng)量,其送風(fēng)量要符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),且對(duì)不同無塵車間內(nèi)送風(fēng)量的多少進(jìn)行梯級(jí)劃分。
5、宜采用專業(yè)的吸塵器和真空吸塵系統(tǒng)來進(jìn)行無塵廠房的清潔,保證無塵車間內(nèi)的清潔度。
6、在產(chǎn)品在生產(chǎn)的過程中對(duì)室溫、濕度等方面有嚴(yán)格要求的時(shí)候,無塵車間內(nèi)設(shè)置的系統(tǒng)必須要滿足產(chǎn)品在這方面的要求。若產(chǎn)品在生產(chǎn)的過程中對(duì)室溫、濕度等方面沒有要求,那么,宜將室溫調(diào)整到20°~26°,濕度為70°。
7、在對(duì)普通無塵凈化車間內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化時(shí),宜使用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾進(jìn)行空氣凈化。如果是十萬級(jí)無塵車間要進(jìn)行空氣凈化處理,采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器要好。